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xiangxintian木蟲 (正式寫手)
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液相外延、氣相外延與常說的物理氣相沉積PVD和化學(xué)氣相沉積CVD有什么本質(zhì)上的區(qū)別嗎？ 已有1人參與
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| 如題。液相外延、氣相外延與常說的物理氣相沉積PVD和化學(xué)氣相沉積CVD有什么本質(zhì)上的區(qū)別嗎？如果有的話區(qū)別在什么地方？如果沒有本質(zhì)區(qū)別，那么什么時候該說沉積，什么時候該說外延呢？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 外延是一個以襯底晶片作籽晶并依襯晶體結(jié)構(gòu)向外延伸為特征的薄膜生長工藝，它可以在氣相中進(jìn)行，也可在液相中進(jìn)行，前者稱為氣相外延(VPE)，后者稱為液相外延(LPE)。氣相外延是一種化學(xué)氣相沉積(CVD)過程與表面成核過程相結(jié)合的工藝。 |
2樓2020-02-01 17:26:23
xiangxintian
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4樓2020-03-11 15:11:36
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5樓2020-03-11 15:54:07
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6樓2020-03-12 09:05:58
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