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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » ITO-PET的濕法刻蝕
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lionly0316銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
ITO-PET的濕法刻蝕 已有1人參與
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最近想再PET基底的ITO柔性薄膜上做個器件，最小線寬10微米，ITO的厚度應該在100nm左右，用稀硝酸與稀鹽酸溶液進行腐蝕，發(fā)現(xiàn)側蝕很嚴重能達到驚人的10微米左右，同時刻蝕過程中明顯能發(fā)現(xiàn)分層剝離的現(xiàn)象。查文獻說ITO應該是屬于各向同性的材料，那么側蝕應該與深度相差不大，不知道側蝕這么大的癥結所在？原來同廠家的玻璃基底的ITO上也做過，效果不錯，幾乎沒有明顯側蝕，與ITO各向同性的特性相符。 同時在摸索刻蝕時間的過程中發(fā)現(xiàn)個有趣的現(xiàn)象，刻蝕過的器件再次放入腐蝕液中再次腐蝕，發(fā)現(xiàn)幾乎腐蝕不動，我試過一次性腐蝕50s，側蝕能達到6微米，而分次腐蝕1分30秒，空隙還有沒刻蝕干凈的情況。 這些問題讓人很崩潰。。。不知有沒有做過的同志能幫助解答一下  |
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4樓2019-11-02 12:19:08
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