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lionly0316銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
ITO-PET的濕法刻蝕 已有1人參與
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最近想再PET基底的ITO柔性薄膜上做個(gè)器件，最小線寬10微米，ITO的厚度應(yīng)該在100nm左右，用稀硝酸與稀鹽酸溶液進(jìn)行腐蝕，發(fā)現(xiàn)側(cè)蝕很嚴(yán)重能達(dá)到驚人的10微米左右，同時(shí)刻蝕過程中明顯能發(fā)現(xiàn)分層剝離的現(xiàn)象。查文獻(xiàn)說ITO應(yīng)該是屬于各向同性的材料，那么側(cè)蝕應(yīng)該與深度相差不大，不知道側(cè)蝕這么大的癥結(jié)所在？原來同廠家的玻璃基底的ITO上也做過，效果不錯(cuò)，幾乎沒有明顯側(cè)蝕，與ITO各向同性的特性相符。 同時(shí)在摸索刻蝕時(shí)間的過程中發(fā)現(xiàn)個(gè)有趣的現(xiàn)象，刻蝕過的器件再次放入腐蝕液中再次腐蝕，發(fā)現(xiàn)幾乎腐蝕不動(dòng)，我試過一次性腐蝕50s，側(cè)蝕能達(dá)到6微米，而分次腐蝕1分30秒，空隙還有沒刻蝕干凈的情況。 這些問題讓人很崩潰。。。不知有沒有做過的同志能幫助解答一下  |
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wonderfulll
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2樓2019-10-27 15:38:06
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4樓2019-11-02 12:19:08
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