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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 電極打線黏附性不強什么原因
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laibaoning銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
電極打線黏附性不強什么原因 已有4人參與
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| 我是GaAs的片子，用HSQ平坦化后長了100nm氧化硅再度的電極（電子束蒸鍍10nmTi，300nmAu），打線時針扎下去起來時候會把金帶起來一塊，應該是黏附性不好吧？是電極底下平坦化材料問題還是鍍金的問題？ |
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zuopeng142
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增強平坦化層和SiO2的粘附性，可以對平坦化層表面活化，或者換成PI膜，或者試試ICP—CVD以及ALD長SiO2，應該都會有改善 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
8樓2019-11-30 11:03:14
bobo201266
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2樓2019-10-24 20:33:06
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3樓2019-10-26 16:07:46
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4樓2019-10-26 16:08:14
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