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laibaoning銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
電極打線黏附性不強(qiáng)什么原因 已有4人參與
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| 我是GaAs的片子，用HSQ平坦化后長了100nm氧化硅再度的電極（電子束蒸鍍10nmTi，300nmAu），打線時(shí)針扎下去起來時(shí)候會(huì)把金帶起來一塊，應(yīng)該是黏附性不好吧？是電極底下平坦化材料問題還是鍍金的問題？ |
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bobo201266
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2樓2019-10-24 20:33:06
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5樓2019-11-11 22:48:27
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6樓2019-11-27 15:04:20
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7樓2019-11-27 16:45:23
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增強(qiáng)平坦化層和SiO2的粘附性，可以對(duì)平坦化層表面活化，或者換成PI膜，或者試試ICP—CVD以及ALD長SiO2，應(yīng)該都會(huì)有改善 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
8樓2019-11-30 11:03:14
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9樓2020-04-11 20:13:48
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