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孚光精儀
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自動(dòng)光譜橢偏儀-SE200BA-M300
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內(nèi)容
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這款自動(dòng)光譜橢偏儀M300是一種自動(dòng)變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長(zhǎng)范圍，并具有自動(dòng)改變?nèi)肷浣堑墓δ�。自�?dòng)spectroscopic ellipsometer從深紫外到可見(jiàn)光再到近紅外.深紫外波長(zhǎng)橢偏儀非常適合測(cè)量超薄薄膜厚度，比如納米薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對(duì)于測(cè)量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。 自動(dòng)光譜橢偏儀 橢圓偏振技術(shù)是通過(guò)研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測(cè)量技術(shù)。 與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見(jiàn)入射角下獲得。通過(guò)改變?nèi)肷浣谴笮�，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測(cè)量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。 改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動(dòng)調(diào)節(jié)，一種是自動(dòng)調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。 自動(dòng)光譜橢偏儀 自動(dòng)光譜橢偏儀M300特色 易于安裝，拆卸和維護(hù) 先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì) 自動(dòng)改變?nèi)肷浣�，入射角分辨率高達(dá)0.01度 高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用 采用陣列探測(cè)器確保高速測(cè)量 測(cè)量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率 可用于實(shí)或在線監(jiān)測(cè)薄膜厚度和折射率 具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù) 提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式 靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)量 一鍵快速測(cè)量 全自動(dòng)標(biāo)定和初始化 精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué) 精密高度和傾斜調(diào)整 適合不同材料和不同后的樣品襯底基片 2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出 自動(dòng)光譜橢偏儀自動(dòng)光譜橢偏儀 自動(dòng)光譜橢偏儀M300參數(shù) 波長(zhǎng)范圍：250-1100nm 波長(zhǎng)分辨率：1nm 測(cè)量點(diǎn)大小：1-5mm可調(diào) 入射角：10-90度可調(diào) 入射角分辨率：0.01度 可測(cè)樣品大�。焊哌_(dá)300mm 直徑 可測(cè)樣品厚度：高達(dá)20mm 測(cè)量薄膜厚度：0nm ---30um 測(cè)量時(shí)間：~1s/點(diǎn) 精度：~0.25% 重復(fù)精度：<1A 自動(dòng)光譜橢偏儀M300可選配件 反射或透射光度測(cè)量配件 微點(diǎn)測(cè)量小面積 X-Y位移臺(tái)用于厚度繪圖 加熱臺(tái)/制冷臺(tái)用于薄膜動(dòng)力學(xué)研究 垂直樣品安裝測(cè)角計(jì) 波長(zhǎng)拓寬到IR范圍 掃描單色儀配置 更多橢偏儀選型請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：https://www.felles.cn/tuopianyi.html 更多光學(xué)類/材料類測(cè)量?jī)x器請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：https://www.felles.cn/ |
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33樓2020-11-22 18:31:25
2樓2019-08-12 09:59:40
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孚光精儀(金幣+1): 謝謝參與
孚光精儀(金幣+1): 謝謝參與
 本帖僅樓主可見(jiàn) |
11樓2019-09-02 02:43:07
14樓2019-11-02 10:31:08
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