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孚光精儀
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自動光譜橢偏儀-SE200BA-M300
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這款自動光譜橢偏儀M300是一種自動變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍，并具有自動改變?nèi)肷浣堑墓δ�。自動spectroscopic ellipsometer從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長橢偏儀非常適合測量超薄薄膜厚度，比如納米薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。 自動光譜橢偏儀 橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。 與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮�，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。 改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調(diào)節(jié)，一種是自動調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。 自動光譜橢偏儀 自動光譜橢偏儀M300特色 易于安裝，拆卸和維護 先進的光學(xué)設(shè)計 自動改變?nèi)肷浣�，入射角分辨率高達0.01度 高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用 采用陣列探測器確保高速測量 測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率 可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率 具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫 提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式 靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量 一鍵快速測量 全自動標定和初始化 精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學(xué) 精密高度和傾斜調(diào)整 適合不同材料和不同后的樣品襯底基片 2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出 自動光譜橢偏儀自動光譜橢偏儀 自動光譜橢偏儀M300參數(shù) 波長范圍：250-1100nm 波長分辨率：1nm 測量點大小：1-5mm可調(diào) 入射角：10-90度可調(diào) 入射角分辨率：0.01度 可測樣品大�。焊哌_300mm 直徑 可測樣品厚度：高達20mm 測量薄膜厚度：0nm ---30um 測量時間：~1s/點 精度：~0.25% 重復(fù)精度：<1A 自動光譜橢偏儀M300可選配件 反射或透射光度測量配件 微點測量小面積 X-Y位移臺用于厚度繪圖 加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學(xué)研究 垂直樣品安裝測角計 波長拓寬到IR范圍 掃描單色儀配置 更多橢偏儀選型請訪問：https://www.felles.cn/tuopianyi.html 更多光學(xué)類/材料類測量儀器請訪問：https://www.felles.cn/ |
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