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lili198422捐助貴賓 (初入文壇)
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[求助]
請問有做掃描干涉場曝光（SBIL）的同學(xué)嗎，想請教實驗條件
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剛接觸這個領(lǐng)域，只看了兩篇博士論文，一個是Paul Thomas Konkola的《Design and analysis of a scannning beam interference lithography system for patterning gratings with nanometer-level distortions》，另一篇是Yong Zhao的《Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application-spatial frequency multiplication》。 這兩篇論文里面都提到了主要實驗艙體environmental enclosure的實驗條件和溫度對實驗精度的影響，但是我沒有太看懂，所以想咨詢一下專業(yè)人士。這個實驗艙是需要Class 10的潔凈區(qū)域，而且溫度控制在20度，一個大氣壓，50%的濕度對嗎？它對溫度的精度或者說波動度要求是多少，是0.005攝氏度嗎？如果要達到這個精度需要如何實現(xiàn)？這個實驗對濕度和其他環(huán)境參數(shù)是否有要求，論文里我沒看到或者是我看漏了。 希望能有專業(yè)人士不吝賜教，非常感謝��！ |
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