 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 1 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 683 | 回復(fù): 0 | ||
lili198422捐助貴賓 (初入文壇)
|
[求助]
請問有做掃描干涉場曝光（SBIL）的同學(xué)嗎，想請教實(shí)驗(yàn)條件
|
|
剛接觸這個領(lǐng)域，只看了兩篇博士論文，一個是Paul Thomas Konkola的《Design and analysis of a scannning beam interference lithography system for patterning gratings with nanometer-level distortions》，另一篇是Yong Zhao的《Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application-spatial frequency multiplication》。 這兩篇論文里面都提到了主要實(shí)驗(yàn)艙體environmental enclosure的實(shí)驗(yàn)條件和溫度對實(shí)驗(yàn)精度的影響，但是我沒有太看懂，所以想咨詢一下專業(yè)人士。這個實(shí)驗(yàn)艙是需要Class 10的潔凈區(qū)域，而且溫度控制在20度，一個大氣壓，50%的濕度對嗎？它對溫度的精度或者說波動度要求是多少，是0.005攝氏度嗎？如果要達(dá)到這個精度需要如何實(shí)現(xiàn)？這個實(shí)驗(yàn)對濕度和其他環(huán)境參數(shù)是否有要求，論文里我沒看到或者是我看漏了。 希望能有專業(yè)人士不吝賜教，非常感謝��！ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
A區(qū)一本交叉課題組，低分調(diào)劑，招收機(jī)械電子信息通信等交叉方向
已經(jīng)有19人回復(fù)
-
085600材料與化工，一志愿廣州985，求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
材料學(xué)學(xué)碩308分/本科東北大學(xué)/一志愿西北工業(yè)大學(xué)/
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
334求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
0856材料與化工求調(diào)劑！
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
一志愿武理085601專碩347分求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
招調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
材料與化工，291，求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
求調(diào)劑，學(xué)校研究所都可以，材料與化工267分
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
332材料求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 lili198422 的主題更新
| 1 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 招調(diào)劑 +4 | 帆船哥 2026-03-04 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 313求調(diào)劑 +3 | 水流年lc 2026-02-28 | 4/200 |
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 曼殊2266 2026-03-05 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 申博 +3 | 添菜了哈 2026-03-04 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0817化學(xué)工程與技術(shù)312分求調(diào)劑 +3 | T123 tt 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料與化工，291分，求調(diào)劑 +9 | 咕嚕咕嚕123123 2026-03-04 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 376求調(diào)劑 +3 | 王浩然sam 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿]
EST拒稿重投
 5+3
|
15102603076 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | 杰尼龜aaa 2026-03-03 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +7 | 張張張張oo 2026-03-03 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 化工專碩調(diào)劑 +4 | 利好利好. 2026-03-03 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 化工270求調(diào)劑 +10 | 什么名字qwq 2026-03-02 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑285 +11 | 呂仔龍 2026-02-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)，材料，環(huán)境類求調(diào)劑 +7 | 考研版棒棒 2026-03-02 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料085601調(diào)劑 +5 | 多多子. 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿東北大學(xué)材料專碩328，求調(diào)劑 +3 | shs1083 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料與化工328求調(diào)劑 +3 | 。，。，。，。i 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 322求調(diào)劑 +3 | 熊境喆 2026-03-01 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿]
求助coordination chemistry reviews 的寫作模板
10+3
|
ljplijiapeng 2026-02-27 | 4/200 |
|
|
|
[論文投稿]
Optics letters投稿被拒求助
30+3
|
luckyry 2026-02-26 | 4/200 |
|