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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 磁控濺射純鋁薄膜工藝與熱導率的關系
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vhtdy新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射純鋁薄膜工藝與熱導率的關系
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各位前輩，最近用磁控濺射鍍了一層80nm的鋁膜，但是熱導率與其他設備鍍膜的熱導率差異很大，向各位前輩請教一下鋁膜的熱導率和工藝有什么聯系嗎，或者有相關的文獻可以分享嘛，找了好久，做這方面的工作太少了 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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