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vhtdy新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射純鋁薄膜工藝與熱導(dǎo)率的關(guān)系
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各位前輩，最近用磁控濺射鍍了一層80nm的鋁膜，但是熱導(dǎo)率與其他設(shè)備鍍膜的熱導(dǎo)率差異很大，向各位前輩請(qǐng)教一下鋁膜的熱導(dǎo)率和工藝有什么聯(lián)系嗎，或者有相關(guān)的文獻(xiàn)可以分享嘛，找了好久，做這方面的工作太少了 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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