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iiverson新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)教，低壓化學(xué)氣相沉積是如何一邊保持低壓一邊通氣的？
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最近想用低壓氣相沉積的方法沉積硅膜，我看網(wǎng)上都是用真空泵抽真空保持低壓，可是一邊抽真空一邊通氣怎么能保持低壓呢？而且也流量也控制不了呀。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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2樓2019-05-08 22:37:56
我是林溪
至尊木蟲(chóng) (職業(yè)作家)
- 應(yīng)助: 15 (小學(xué)生)
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- 沙發(fā): 147
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- 專(zhuān)業(yè): 計(jì)算機(jī)硬件技術(shù)
有的真空泵可以設(shè)定真空度啊，如果只有真空泵的話(huà)，需要加一個(gè)真空緩沖罐，再加閥門(mén)，真空表等，自己手動(dòng)調(diào)解閥門(mén)大小控制真空度。進(jìn)氣也一樣，加閥門(mén)調(diào)解，氣瓶上面不是有氣體流量計(jì)么？保持穩(wěn)定低壓比較難，只能自己慢慢試著調(diào)了。也不知道說(shuō)得對(duì)不對(duì)，說(shuō)錯(cuò)了還請(qǐng)見(jiàn)諒 。發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2019-05-09 16:22:14
laozheng66
新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1394.9
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- 帖子: 352
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- 蟲(chóng)號(hào): 15060291
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- 專(zhuān)業(yè): 固體力學(xué)
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我是搞真空的，控制非常容易實(shí)現(xiàn)。只要真空泵的抽速和氣體供給達(dá)到平衡就能維持穩(wěn)定真空度。這個(gè)平衡通過(guò)控制氣體流量計(jì)的大小和抽速的快慢來(lái)實(shí)現(xiàn)。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
4樓2019-05-10 09:15:21
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