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[求助]
請教，低壓化學氣相沉積是如何一邊保持低壓一邊通氣的？
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最近想用低壓氣相沉積的方法沉積硅膜，我看網(wǎng)上都是用真空泵抽真空保持低壓，可是一邊抽真空一邊通氣怎么能保持低壓呢？而且也流量也控制不了呀。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2019-05-08 22:37:56
我是林溪
至尊木蟲 (職業(yè)作家)
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- 專業(yè): 計算機硬件技術
有的真空泵可以設定真空度啊，如果只有真空泵的話，需要加一個真空緩沖罐，再加閥門，真空表等，自己手動調解閥門大小控制真空度。進氣也一樣，加閥門調解，氣瓶上面不是有氣體流量計么？保持穩(wěn)定低壓比較難，只能自己慢慢試著調了。也不知道說得對不對，說錯了還請見諒 。發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2019-05-09 16:22:14
laozheng66
新蟲 (正式寫手)
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- 注冊: 2019-05-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 固體力學
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我是搞真空的，控制非常容易實現(xiàn)。只要真空泵的抽速和氣體供給達到平衡就能維持穩(wěn)定真空度。這個平衡通過控制氣體流量計的大小和抽速的快慢來實現(xiàn)。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2019-05-10 09:15:21
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