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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 設(shè)備儀器 » 分子泵提示過流保護
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硬質(zhì)皮蛋新蟲 (小有名氣)
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[求助]
分子泵提示過流保護
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做鍍膜，抽真空完事兒后，通氬氣流量是60，真空度從10-4上漲到了10左右pa，分子泵發(fā)出故障提示：過流保護，問下同行，是什么原因?qū)е碌哪兀渴遣皇且驗闅鍤饬髁窟^大？ @comma @comma 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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10pa時真空度太低，單位體積分子數(shù)太多，分子泵中刷子的阻力，摩擦較大，所以出現(xiàn)保護。60sccm的流量不大，考慮下其他因素 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2019-04-10 06:30:26
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