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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 設備儀器 » 分子泵提示過流保護
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硬質皮蛋新蟲 (小有名氣)
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[求助]
分子泵提示過流保護
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做鍍膜，抽真空完事兒后，通氬氣流量是60，真空度從10-4上漲到了10左右pa，分子泵發(fā)出故障提示：過流保護，問下同行，是什么原因導致的呢？是不是因為氬氣流量過大？ @comma @comma 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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