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金屬鈦薄膜在高溫下是否會(huì)與氮?dú)夥磻?yīng)形成TiN薄膜
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采用電子束或者磁控濺射等PVD設(shè)備制備的Ti薄膜,厚度在幾百個(gè)納米范圍內(nèi)(>100nm),在氮?dú)夥諊鷥?nèi),溫度600-900攝氏度范圍,持續(xù)時(shí)間1min-10min。 問(wèn)題:①該Ti薄膜的表面是否會(huì)形成TiN,形成的TiN厚度一般是多少,(用薄膜總厚度的比例表征或者是厚度表征一下) ②如果會(huì)形成TiN薄膜,一般怎么去表征這層TiN薄膜的質(zhì)量?(導(dǎo)電性?表面形貌?結(jié)晶?) ③是否有這方面的文獻(xiàn)可以參考?(我也不清楚找哪方面的,我的目的是直接做出TiN,但是設(shè)備的硬件條件比較難做出來(lái),只能靠這種方式嘗試形成導(dǎo)電性良好且穩(wěn)定性好的TiTiN薄膜) |
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[考研] 322分 085600求調(diào)劑,有互聯(lián)網(wǎng)+國(guó)金及主持省級(jí)大創(chuàng)經(jīng)歷 +6 | 熊境喆 2026-03-04 | 6/300 |
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[考研] 一志愿西工大材料學(xué),英一數(shù)二總分321分,求調(diào)劑。 +3 | zz05zz 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 271求調(diào)劑 +4 | Ricardo1113 2026-03-02 | 4/200 |
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[考研] 11408,學(xué)碩276求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-02 | 5/250 |
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[考研] 285求調(diào)劑 +9 | 滿頭大汗的學(xué)生 2026-02-28 | 9/450 |
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[考研] 材料工程274求調(diào)劑 +5 | Lilithan 2026-03-01 | 5/250 |
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[考研] 一志愿華南理工大學(xué)材料與化工326分,求調(diào)劑 +3 | wujinrui1 2026-02-28 | 3/150 |
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[考研] 279求調(diào)劑 +3 | dua1 2026-03-01 | 4/200 |
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[基金申請(qǐng)] 成果系統(tǒng)訪問(wèn)量大,請(qǐng)一小時(shí)后再嘗試。---NSFC啥時(shí)候好哦,已經(jīng)兩天這樣了 +4 | NSFC2026我來(lái)了 2026-02-28 | 4/200 |
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[基金申請(qǐng)]
剛錄用,沒(méi)有期刊號(hào),但是在線可看的論文可以放為代表作嗎
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arang1 2026-03-01 | 3/150 |
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