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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料與生態(tài) » 磁控濺射Au靶的保護方法
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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射Au靶的保護方法 已有3人參與
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| 最近實驗室準備買一個Au靶用來做電極，用的是JGP-450磁控濺射設備，里面還有其他的介質靶材，老師說Au的擴散能力很強，濺射事會污染到其他靶材，有沒有什么方法來保護一下其他靶材呢？比如貼一層Al箔? |
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Everest_lI
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