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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射Au靶的保護方法 已有3人參與
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| 最近實驗室準(zhǔn)備買一個Au靶用來做電極，用的是JGP-450磁控濺射設(shè)備，里面還有其他的介質(zhì)靶材，老師說Au的擴散能力很強，濺射事會污染到其他靶材，有沒有什么方法來保護一下其他靶材呢？比如貼一層Al箔? |
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4樓2019-03-18 09:52:55
Everest_lI
新蟲 (正式寫手)
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- 注冊: 2019-03-27
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
5樓2019-04-27 17:44:51
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