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Icymi新蟲 (初入文壇)
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求助單層cvd石墨烯器件金屬接觸電阻問(wèn)題
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我們于外面acs購(gòu)買了cvd單層石墨烯材料制作石墨烯fet，使用電子束蒸發(fā)鍍Ni/Au(10nm/30nm)剝離作為接觸電極，但是測(cè)量器件的Ids-Vds曲線在小電壓下幾乎不導(dǎo)通，加大電壓，在大電流下（1ua以上）循環(huán)測(cè)試幾次后，才能變?yōu)榫�性的iv（低電阻狀態(tài)）。但是如果不施加電壓，過(guò)一段時(shí)間后，又會(huì)變?yōu)楦咦锠顟B(tài)。已在Ar 250°、350°中退火兩次，沒(méi)有改變。之前用過(guò)Ti/Au,Cr/Au,掃iv也有些彎曲，有些像肖特基接觸 求助有沒(méi)有遇到過(guò)類似問(wèn)題的解決辦法，我們希望實(shí)現(xiàn)歐姆接觸，在小電壓下也是一個(gè)線性的iv。 Stochastic nonlinear electrical characteristics of graphene 目前非常類似于這篇文章中提到的情況 |
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4樓2024-10-10 12:41:10
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2樓2024-10-09 17:14:58
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我們?cè)谕ù箅娏魇蛊骷優(yōu)榈妥韬笥脗鬏斁�結(jié)構(gòu)測(cè)量了接觸電阻，應(yīng)該在幾k歐姆·um左右。 您是指兩個(gè)探針直接扎到一個(gè)pad上看看金屬的導(dǎo)電性嗎？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2024-10-10 08:48:30
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5樓2024-10-10 13:09:37
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