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jane_stony新蟲 (初入文壇)
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[求助]
EDS點(diǎn)掃的有效測量面積最小是多少啊 已有2人參與
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| 之前測了EDS，其中有一個(gè)打點(diǎn)的區(qū)域?qū)?.1μm長0.5μm左右，打出來成分和預(yù)期差得有點(diǎn)大，所以想知道這個(gè)點(diǎn)有沒有小過EDS點(diǎn)掃的有效測量面積，會不會掃到邊上的相了？ |
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jane_stony
新蟲 (初入文壇)
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4樓2020-02-05 19:36:11
gxytju2008
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2樓2020-02-05 17:46:28
yinweisteel
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EDS能譜打點(diǎn)要求高的計(jì)數(shù)率，定量才準(zhǔn)。而為了高的計(jì)數(shù)率，需要選擇高的加速電壓。加速電壓越大，相對原子質(zhì)量越小，打得梨形區(qū)深度越深，最深5微米，所以基本上1微米打薄層定量就不準(zhǔn)，并且EDS 非準(zhǔn)確定量工具，它是快速定量準(zhǔn)確的工具，講究的是快速，定量并不準(zhǔn)確��！ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2020-02-05 18:25:24
gxytju2008
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【答案】應(yīng)助回帖
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我不確定你做的點(diǎn)掃描是這個(gè)意思，不過肯定是能實(shí)現(xiàn)的，就是在一個(gè)區(qū)域連續(xù)掃描采譜線就是了，和掃mapping最后拿出來譜線分析完全是一個(gè)意思其實(shí)，掃描電鏡能譜信號絕大部分都是深層幾微米以上的范圍貢獻(xiàn)的，表面nm級別貢獻(xiàn)是非常小的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2020-02-06 00:46:52
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