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如何測量壓電材料的殘余應(yīng)力，現(xiàn)在有成熟的方法嗎？ 已有2人參與
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請(qǐng)教各位前輩，現(xiàn)在有沒有成熟的手段測PZT薄膜的殘余應(yīng)力�，F(xiàn)在將薄膜沉積在芯片上，薄膜部分位置出現(xiàn)翹曲，想通過非破壞的方式測出殘余應(yīng)力。 看文獻(xiàn)好像可以用XRD測，但是如果薄膜是各向異性或者有較強(qiáng)織構(gòu)，XRD傳統(tǒng)的sin2ψ測量方法是測不準(zhǔn)的，請(qǐng)問哪位前輩知道怎么測？謝謝。 |
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wmzt
4樓2019-07-23 09:34:19
2樓2019-07-23 01:12:54
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