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hubuhurui新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
光刻顯影微納加工
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| 本人在氧化鎵薄膜表面光刻叉指電極，光刻顯影后得到如下圖案，不知怎么判斷顯影效果是否較好，后續(xù)經(jīng)過(guò)真空蒸鍍的方法鍍上Ti/Au電極，結(jié)果在用丙酮洗脫電極的時(shí)候電極大面積脫落，不知道是哪里出了問(wèn)題，請(qǐng)各位大佬指點(diǎn)指點(diǎn)。（使用的光刻膠是AZ5214E，當(dāng)作正叫使用，有前烘和后烘處理，且在后烘之后用plasma打了幾分鐘處理表面的膠后再進(jìn)行蒸鍍） |
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hubuhurui
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 110.5
- 帖子: 19
- 在線: 102.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 34186813
- 注冊(cè): 2023-10-09
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
3樓2024-11-18 20:33:20
2樓2024-11-18 20:29:21
4樓2024-11-20 08:39:44
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