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yupeng199新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過程中,預(yù)濺時的輝光顏色正常,但是正濺時輝光有些許變淺,同時分子泵在抽真空的過程中時間過長,之后取出靶材時,靶材表面裂縫處發(fā)黑,同時靶材與背靶銅之間的銦沒了,一小塊靶材脫落,這塊靶材本身濺射次數(shù)太多,已發(fā)生開裂,請問這是為啥會黑呢,那這塊靶材還能使用嗎 |
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