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hubuhurui新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻顯影微納加工
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| 本人在氧化鎵薄膜表面光刻叉指電極,光刻顯影后得到如下圖案,不知怎么判斷顯影效果是否較好,后續(xù)經(jīng)過真空蒸鍍的方法鍍上Ti/Au電極,結(jié)果在用丙酮洗脫電極的時候電極大面積脫落,不知道是哪里出了問題,請各位大佬指點指點。(使用的光刻膠是AZ5214E,當作正叫使用,有前烘和后烘處理,且在后烘之后用plasma打了幾分鐘處理表面的膠后再進行蒸鍍) |
新蟲 (初入文壇)
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通訊作者寫誰,問題是你意想不到的問題
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