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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術交流 » 光刻膠
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| 【有獎交流】積極回復本帖子，參與交流，就有機會分得作者 183092217 的 5 個金幣 | |||
[交流]
光刻膠
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Su8光刻膠用環(huán)戊酮稀釋后，旋涂成膜，曝光顯影后，膜出現(xiàn)褶皺，請問大家該如何解決，并且在膜上還有下圖的情況不知道為什么，希望大佬賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-08-06 22:34:06
3樓2021-08-08 10:12:55
濟南創(chuàng)科
新蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 70.1
- 帖子: 22
- 在線: 56分鐘
- 蟲號: 24472794
- 注冊: 2020-10-31
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
4樓2021-08-12 00:00:52
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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請問有沒有用Ebl刻過150nm厚度左右的SU8,想咨詢一下工藝問題，曝光參數(shù)以及加熱問題。摸索了一段時候還是很差 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2022-08-06 20:19:05
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