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dongzhuo1994新蟲 (小有名氣)
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[求助]
PtTe2薄膜生長(zhǎng)求助
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使用碲化的方法生長(zhǎng)大面積PtTe2材料，利用磁控濺射蒸鍍4nm Pt金屬，生長(zhǎng)條件按照文獻(xiàn)的450℃生長(zhǎng)1小時(shí)，Ar和H2的流量分別為60sccm和10sccm 生長(zhǎng)出來的PtTe2薄膜表面有很多小黑點(diǎn)（如圖所示），這個(gè)是什么原因?qū)е碌�，有什么方法可以解決 之前按這個(gè)條件生長(zhǎng)都是沒問題的，現(xiàn)在出現(xiàn)這個(gè)情況了，求助 |
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dongzhuo1994
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
2樓2025-06-09 15:35:57
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