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DDDJJJHHH新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PLD生長的氮化鋁非晶層的絕緣性不足怎么辦
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求助，使用PLD在室溫高真空（10-7mbar）STO001襯底上生長的氮化鋁非晶層絕緣性極差，生長出來的絕緣層是黑色的鏡面反光的，通過后退火處理（600攝氏度 5小時）也無法完全絕緣，老師說正常的氮化鋁層應(yīng)該是透明的，我的這些步驟里面哪里可能導(dǎo)致這些問題的產(chǎn)生？ 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
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