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your voice新蟲 (小有名氣)
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[求助]
ALD沉積Nb2O5 已有1人參與
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有沒有哪位老師做過原子層沉積五氧化二鈮相關(guān)研究？我目前在用A LD沉積五氧化二鈮，前驅(qū)體用的是TBTDEN（(叔丁胺基)三(二乙氨基)鈮(V)）和水，前驅(qū)體加熱溫度135度，沉積溫度250度，沉積樣品一直發(fā)黑，TEM表征沒有Nb，請問這是什么原因造成的？求賜教感激不盡?? @jiagle 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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gadfly03
銀蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 有機(jī)金屬化學(xué)
2樓2025-09-10 10:36:47
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