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17737890386新蟲 (初入文壇)
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[求助]
Al/Ni納米多層膜的制備和大面積量產(chǎn)
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用雙靶磁控濺射機制備Al/Ni納米多層膜，基板用580mm*140mm不銹鋼，表面機械拋光處理，基板清洗后安裝到輥筒上，一個輥筒安裝9塊基板，鋁靶和鎳靶垂直安裝于輥筒兩側(cè)，輥筒1圈/分鐘旋轉(zhuǎn)，同時打開鋁靶和鎳靶濺射，控制鋁層和鎳層的厚度分別為50nm和30nm，總厚度沉積到20um左右時，薄膜出現(xiàn)脫落，和燃燒現(xiàn)象，如何解決這個問題？ @dut_ameng 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
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