已入駐小木蟲(chóng) 1024 天雙球差電鏡（HADDF、EELS、SUPER EDS）、透射電鏡（STEM、TEM）、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半導(dǎo)體相關(guān)檢測(cè)、芯片逆向等
原位壓縮、微柱壓縮、懸臂梁彎曲（掃描電鏡、透射電鏡），球差三維重構(gòu)
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內(nèi)容
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型號(hào)：sigma300 關(guān)鍵詞:場(chǎng)發(fā)射掃描、掃描電鏡、SEM、FESEM、掃描 產(chǎn)地：德國(guó)蔡司 詳細(xì)內(nèi)容： （1）中文名稱：場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡；英文名稱：FE-SEM （2）生產(chǎn)廠商:德國(guó)卡爾·蔡司股份公司；型號(hào)：Zeiss Sigma 300 （3）主要功能及應(yīng)用：高分辨率微區(qū)形貌分析及成像，結(jié)合能譜儀可進(jìn)行半定量分析；被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等領(lǐng)域。 （4）主要技術(shù)指標(biāo)： 分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV） 加速電壓：20V~30kV，連續(xù)可調(diào)，每檔10 V連續(xù)可調(diào)，無(wú)需模式更換 電子槍：肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 電子束流：最大束流不小于20 nA 放大倍數(shù)：10~1000000 (底片放大倍率)，根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)。 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（傾斜），360°（旋轉(zhuǎn)），樣品臺(tái)移動(dòng)精度：≤2μm 真空系統(tǒng)：樣品室真空度：高真空模式優(yōu)于 2×10-4 Pa； 能譜儀：電制冷牛津40mm2能譜儀 數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)：圖像儲(chǔ)存分辨率：最大32 k×24 k像素，圖像顯示：1240×768 像素；圖像記錄：TIFF, BMP或JPEG。 （5）可測(cè)試項(xiàng)目：噴金、微觀形貌、能譜（點(diǎn)掃、線掃、面掃） 噴金：導(dǎo)電性差、不導(dǎo)電樣品需先噴金后測(cè)試 形貌：一般取2個(gè)位置，共8~10張圖片左右 能譜：元素范圍Be~U （6）送樣要求： 需提供詳細(xì)樣品信息:樣品成分、名稱、形態(tài)、導(dǎo)電性、拍攝放大倍數(shù)/標(biāo)尺要求、相應(yīng)的參考圖 （7）收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)系方式： 按樣：100元/個(gè)（形貌） 噴金：10元/個(gè) 磁性：150元/個(gè) 現(xiàn)場(chǎng)：400元/小時(shí)（含云視頻） 預(yù)存價(jià)格可談！ 郵箱：test@tsinghua-wx.org 聯(lián)系人： 徐宏 博士 13426445751（微信同號(hào)） 鐘磊 經(jīng)理 15600909562（微信同號(hào)） 賽思實(shí)驗(yàn)室 清華大學(xué)無(wú)錫應(yīng)用技術(shù)研究院 商務(wù)部第三代半導(dǎo)體投資聯(lián)盟智庫(kù)中心 無(wú)錫地址：無(wú)錫市濱湖區(qū)建筑西路777號(hào)A3-101 北京地址：北京市海淀區(qū)西大街36號(hào)昊海樓2層 |
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4樓2025-02-19 11:40:36
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