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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻膠工藝問題
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二七九二新蟲 (初入文壇)
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光刻膠工藝問題 已有3人參與
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光刻膠az4620，勻膠1000rpm得20um厚，軟烘85℃40min，重復(fù)10次勻膠軟烘得到200um厚的膠，曝光60sx10次，顯影az400k（1：3稀釋-15min+1：4稀釋-35min，總共50min），顯影用磁力攪拌2000轉(zhuǎn)/分?jǐn)嚢�。第一為什么邊邊有血紅色的膠，好像暗腐蝕但是不太確定。第二，光刻膠底部有粘附不牢，圖案不完整現(xiàn)象，不知道是前烘不足還是磁力攪拌轉(zhuǎn)速過快。 發(fā)自小木蟲手機(jī)客戶端 |
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2樓2024-12-31 11:39:11
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3樓2024-12-31 11:39:47
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二七九二: 金幣+5 2025-01-02 10:57:41
| 你這個工藝搞的勻膠重復(fù)的次數(shù)太多了，這樣導(dǎo)致不同的加熱環(huán)節(jié)產(chǎn)生的效果是不一樣的，由于你的工藝過于復(fù)雜，無法通過這么幾個實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)就可以推斷出什么原因?qū)е碌�。建議你換AZ9260光刻膠試試吧�？傊瑒蚰z和烘膠次數(shù)太多了，各種不可控，你這個很難獲得理想膠型，主要是太厚了��！ |
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二七九二4樓2024-12-31 15:58:27
ciompman
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5樓2024-12-31 15:59:33
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