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小柯基？新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射氧化鎵晶體管沒有光響應(yīng)
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本人在硅基襯底上（100nmSiO2）用磁控濺射做大概100nm的氧化鎵，熱蒸發(fā)鎳做叉指電極。但是施加254nm紫外光后沒有任何光響應(yīng)電流，也沒有柵控。 濺射工藝純氬氣無(wú)氧濺射 1.5mtorr，RF100W。Vd＝5V下，暗電流電流在E-8的量級(jí)現(xiàn)在不知道什么情況，就是沒有光響應(yīng)。有沒有大佬看見能夠指教一下下 ，謝謝 |
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dxcv999
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2樓2025-04-06 07:42:37
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3樓2025-06-20 16:39:09
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