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Ghker鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
金屬濺射相關(guān)問題 已有2人參與
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| 最近在做金屬濺射，鍍Cr后再鍍Au，但是后續(xù)硅烷化修飾時Au容易脫落，想問會不會是金屬濺射Cr時在反應(yīng)腔室產(chǎn)生了碎屑，導(dǎo)致金層不致密呢。因為清理腔室的時候感覺有一些小碎渣，如果真是這個原因，還想請教大家一下，鍍Cr時碎屑是怎么產(chǎn)生的呢 |
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Au的黏附力不夠，需要調(diào)整濺射工藝參數(shù)，濺射功率等 
2樓2024-11-25 10:56:16
siyuyouai
銀蟲 (小有名氣)
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3樓2024-12-05 16:19:44
y010204025
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4樓2024-12-06 15:16:18
cmshi
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5樓2024-12-12 13:37:15
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