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鍵德分享|探針臺有哪些類型？
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探針臺根據(jù)測試對象的差異，可以分成晶圓探針臺和晶粒探針臺。下面鍵德測試測量小編就為大家詳細(xì)介紹下。 (1)晶圓探針臺： 晶圓探針臺是對未切割晶圓上的器件進(jìn)行特性或故障檢測而使用的測試設(shè)備，主要應(yīng)用在集成電路、分立器件領(lǐng)域。探針臺與測試機(jī)連接后，能自動完成對晶圓上全部裸芯片的電參數(shù)測試及功能測試。晶圓探針臺通過高精密四維平臺，微米級的定位精度，實現(xiàn)晶圓上 PAD 點與探針卡上的探針可靠接觸，從而實現(xiàn)對晶圓上裸芯片的測試，并將測試結(jié)果記錄或者標(biāo)識標(biāo)志點，在下道工序進(jìn)行處理。晶圓探針臺毛利率整體上高于晶粒探針臺。深圳矽電招股書披露其晶圓探針臺的毛利率約為48-51%。 (2)晶粒探針臺： 晶粒探針臺是對晶圓劃片后的裸晶粒進(jìn)行檢測的探針測試設(shè)備，主要應(yīng)用于光電器件領(lǐng)域。由于晶圓劃片后晶粒位置會發(fā)生變化，晶粒探針臺需通過全掃描排序記錄每顆晶粒的具體位置，在測試時根據(jù)所記錄的位置運動與對應(yīng)的探針接觸，并標(biāo)記出測試結(jié)果。毛利率為34-41%。 以上關(guān)于探針臺類型就為大家分享到這里，探針臺市場發(fā)展前景與半導(dǎo)體制造工藝迭代、半導(dǎo)體產(chǎn)量提升密切關(guān)聯(lián)。采用先進(jìn)工藝制造的芯片具備更復(fù)雜、更緊湊的結(jié)構(gòu)特征，芯片測試過程要求探針臺具備更高的操控精度;而應(yīng)用場景的拓寬以及芯片結(jié)構(gòu)尺寸的縮小又引發(fā)芯片產(chǎn)量以及測試需求上升，因此業(yè)界對探針臺設(shè)備的需求量及性能要求持續(xù)提高，探針臺市場規(guī)模快速發(fā)展。 |
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