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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 磁控濺射靶材發(fā)黑
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磁控濺射靶材發(fā)黑 已有1人參與
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向下濺射臺，裝了兩個靶材，濺射鋁靶結(jié)束后，金靶表面出現(xiàn)一部分位置黑色的膜層，金靶全程沒有啟動過，eds測試后，黑色位置碳氧含量占比很高都是有8%左右，但是無論是樣品還是靶材表面都沒有有機物，請教一下各位大佬，這是什么情況 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2025-02-24 16:53:37
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