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鍵德分享|選擇探針臺要了解哪些注意事項？
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隨著半導(dǎo)體市場的逐步開放和增長,作為半導(dǎo)體檢測的必備儀器——探針臺的市場也在逐年增長和擴大中。它用于固定和支撐測試探針，確保其穩(wěn)定地接觸到芯片上的測試點。那么選擇探針臺要了解哪些注意事項呢?下面就跟隨鍵德測試測量小編一起來看看吧! 選擇探針臺要了解如下注意事項： 1、您需求的最大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片,最小的單顆芯片尺寸? 2、您需求的探針臺機械精度要求多高? 3、您需求的點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路? 4、您需求的最多需要幾個探針同時去點測?是否會用到探針卡測試? 5、您需求的光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少? 6、您需求的顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測? 7、您需求的探針點測時,對電流的要求能否達到100fa或者以下?低電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求? 8、您需求的測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體? 9、您需求的探針臺對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck? 10、您是否需要防震桌?若添置防震桌,是否有壓縮空氣? 以上關(guān)于選擇探針臺要了解哪些注意事項的相關(guān)內(nèi)容就為大家分享到這里，希望這篇文章對大家有所幫助。 |
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