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Icymi新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
PMMA轉(zhuǎn)移石墨烯殘膠問(wèn)題 已有2人參與
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最近在做使用pmma轉(zhuǎn)移cu上的石墨烯到硅襯底上，但是轉(zhuǎn)移后完成使用丙酮去膠后，發(fā)現(xiàn)pmma的殘膠很多，希望各位能提一些建議。 下面是簡(jiǎn)要的轉(zhuǎn)移過(guò)程： 1. PMMA A4 以 3000 rpm 的速度旋涂在銅箔上。 2. 在熱板上以 80° 烘烤 5 分鐘。 3. 用 rie 的 AR 蝕刻的銅箔背面 4.將銅箔在 1 M 的 fecl3 溶液中蝕刻 1 小時(shí)。 5. 用去離子水洗滌 3 次 6. 轉(zhuǎn)移到樣品中，靜置過(guò)夜，之后在 70° 下烘烤半小時(shí) 7. 在丙酮中浸泡 3 次，每次半小時(shí) 8. 浸泡 IPA 15 分鐘 嘗試過(guò)加熱丙酮到40°浸泡2h，但是殘膠仍然很多。 |
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