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鍵德分享|探針臺按實現(xiàn)目標功能不同怎么劃分？
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探針臺屬于整個測試系統(tǒng)的基礎，沒有探針臺，就相當于醫(yī)生沒有了手術(shù)臺，在普通的病床上給病人做手術(shù)，將極大地增加手術(shù)風險。那么探針臺按實現(xiàn)目標功能不同怎么劃分呢？下面鍵德測試測量小編就為大家詳細介紹下。 探針臺可按實現(xiàn)目標功能不同劃分成以下三部分： (1)顯微鏡。沒有該配置，所有精密操作將無從談起。目前行業(yè)內(nèi)最常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡，前兩種用得最多。 (2)承載平臺。該部分是構(gòu)成探針臺骨架，可分為顯微鏡支架、定位器平臺和樣品臺(載物臺)。不同的顯微鏡，顯微鏡的支架會有所不同，通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應用不同會有不同的設計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品，通常根據(jù)晶圓尺寸設計，常用的尺寸從2～12英寸。除了承載樣品的功能，樣品臺還可根據(jù)測量需求，設計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。 (3)精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應的移動定位功能，方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。 以上關于探針臺可按實現(xiàn)目標功能的劃分就為大家分享到這里，隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展和市場需求的增長，探針臺也在不斷進步和創(chuàng)新，朝著更高程度的自動化、智能化、多功能化、高精度和高靈敏度以及更好的環(huán)境適應性方向發(fā)展。 |
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