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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 高分子 » 高分子化學 » 光敏樹脂中分子量和分子量分布影響
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245796795銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
光敏樹脂中分子量和分子量分布影響
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各位前輩好，小蟲想請教下。 在光敏樹脂成分中，所采用的主體樹脂的分子量和分子量分布對光敏樹脂的整體性能有哪些影響？比如分子量過大過小以及分子量分布寬窄？ 1:主體樹脂的分子量大小影響著整體光敏樹脂的黏性和流動性，分子量越大，樹脂的粘度越高，分子間相互作用力較強，使得樹脂流動性降低。 2:分子量和分子量分布都影響光刻圖案的分辨率和形狀。過高或過低的分子量都會影響光敏樹脂的性能。分子量分布過寬會是光敏樹脂光刻分辨率和精度變差？ 3:分子量大小對光敏樹脂的機械性能有著較大影響。 目前我自己歸納了幾點不知道對錯，還請各位前輩指證。如果有文章或書本出處懇請讓小蟲學習下。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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