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577610822新蟲 (初入文壇)
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[求助]
原子層沉積使用乙醇鈮前驅(qū)體沉積氧化鈮薄膜的一些問題
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| 有蟲友用過乙醇鈮原子層沉積過氧化鈮薄膜嗎，我用的鼓泡瓶原加熱190攝氏度連續(xù)模式出源0.5s感覺沒什么脈沖，然后換鼓泡模式。好像比之前脈沖明顯一點(diǎn)了。反應(yīng)溫度250攝氏度，氧等離子做氧源，然后設(shè)備是科民電子peald-200r，襯底是18*18mm的氧化硅片，沉積出來的薄膜周圍有一圈是白色的，有沒有蟲友知道這是怎么回事呀。 |
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