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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 薄膜 光刻
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hubuhurui新蟲 (初入文壇)
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[交流]
薄膜 光刻 已有1人參與
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求助各位大佬，我目前所做的是在藍寶石上長了一層氧化鎵薄膜，然后再通過光刻刻上叉指電極的圖案，精度最小是5um，再蒸鍍Au作電極。目前的問題是顯影總是一半圖案清晰一半模糊，其次是鍍上Au之后用丙酮洗脫導致圖案部分的電極也脫落。希望各位大佬指點指點，卡好久了 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2024-09-19 09:31:33
hubuhurui
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3樓2024-11-18 20:09:40
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