質量流量控制器、質量流量計（層流差壓、熱式、科里奧利，可測氣體或液體）
上海市閔行區(qū)元科路155號18幢三層
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Alicat（艾里卡特）：精確流量和壓力控制 | CVD（化學氣相沉積）
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化學氣相沉積（CVD）是一種薄膜工藝，化學氣相沉積是反應物質在氣態(tài)條件下發(fā)生化學反應,生成固態(tài)物質沉積在加熱的固態(tài)基體表面,進而制得固體材料的工藝技術�；瘜W氣相沉積的方法很多，包括MOCVD、ALD、CVI和PECVD等。有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）是把反應物質全部以有機金屬化合物的氣體分子形式，用H2作載帶氣體送到反應室,進行熱分解反應而形成化合物半導體的一種新技術。 Alicat（艾里卡特）的質量流量和壓力控制器非常適用于MOCVD 系統(tǒng)，因為捕獲的前體和載氣的流量和壓力必須經(jīng)過精確控制，以達到理想操作效率。在這里，我們將討論幾個MOCVD系統(tǒng)設計選項，Alicat 設備為重要的MOCVD變量（如氣體流量、壓力等）提供高重復性、快速和閉環(huán)控制。 具體看這篇文章：https://mp.weixin.qq.com/s/Nu0oZLt7pTLkXtIOSO_JPA |
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wszyq1985(金幣+2): 謝謝參與
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12樓2024-08-15 15:47:27
wszyq1985: 回帖置頂 2024-08-15 09:55:35
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Alicat（艾里卡特）可提供高精度、快速控制的氣體、液體的質量流量控制器、質量流量計、壓力控制器等產(chǎn)品。 聯(lián)系方式：電郵info-cn@alicat.com、致電 400 920 5760 /+86-21-61519020 歡迎垂詢！ |
質量流量控制器、質量流量計（層流差壓、熱式、科里奧利，可測氣體或液體）
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2樓2024-08-15 09:55:29
5樓2024-08-15 10:03:50
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