質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)（層流差壓、熱式、科里奧利，可測氣體或液體）
上海市閔行區(qū)元科路155號(hào)18幢三層
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Alicat（艾里卡特）：精確流量和壓力控制 | CVD（化學(xué)氣相沉積）
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化學(xué)氣相沉積（CVD）是一種薄膜工藝，化學(xué)氣相沉積是反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)物質(zhì)沉積在加熱的固態(tài)基體表面,進(jìn)而制得固體材料的工藝技術(shù)�；瘜W(xué)氣相沉積的方法很多，包括MOCVD、ALD、CVI和PECVD等。有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積（MOCVD）是把反應(yīng)物質(zhì)全部以有機(jī)金屬化合物的氣體分子形式，用H2作載帶氣體送到反應(yīng)室,進(jìn)行熱分解反應(yīng)而形成化合物半導(dǎo)體的一種新技術(shù)。 Alicat（艾里卡特）的質(zhì)量流量和壓力控制器非常適用于MOCVD 系統(tǒng)，因?yàn)椴东@的前體和載氣的流量和壓力必須經(jīng)過精確控制，以達(dá)到理想操作效率。在這里，我們將討論幾個(gè)MOCVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)選項(xiàng)，Alicat 設(shè)備為重要的MOCVD變量（如氣體流量、壓力等）提供高重復(fù)性、快速和閉環(huán)控制。 具體看這篇文章：https://mp.weixin.qq.com/s/Nu0oZLt7pTLkXtIOSO_JPA |
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很好 21樓2024-08-17 07:15:06
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