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yunshengcd新蟲 (小有名氣)
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[交流]
反應(yīng)碳化硅生產(chǎn)滲硅一般用什么坩堝或工裝,使用壽命多長?
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| 目前實(shí)驗(yàn)室滲硅用石墨坩堝使用壽命很短,但反應(yīng)碳化硅早已實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn),技術(shù)比較成熟,成本低,請問一下反應(yīng)碳化硅工業(yè)生產(chǎn)一般用什么坩堝或工裝,使用壽命多長? |
金蟲 (正式寫手)
| 反應(yīng)燒結(jié)批量生產(chǎn)一般用的是石墨坩堝,如果只是實(shí)驗(yàn)室用,可以購買無壓燒結(jié)碳化硅坩堝。 |
新蟲 (小有名氣)
木蟲 (正式寫手)

金蟲 (正式寫手)
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