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科研第一人金蟲 (小有名氣)
金蟲
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[求助]
金屬氧化物薄膜空氣退火和真空退火對(duì)表面粗糙度的影響 已有1人參與
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各位蟲友大佬： 請(qǐng)教一個(gè)問題金屬氧化物薄膜空氣退火和真空退火兩種處理方法對(duì)薄膜表面粗糙度會(huì)有影響嗎，理論依據(jù)，感謝回復(fù) |
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【答案】應(yīng)助回帖
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之前有學(xué)校用我們嘉儀通快速退火爐對(duì)鈣鈦礦太陽能電池中BaBiO3進(jìn)行晶化退火 RTP：600℃，10min，O2氣氛 在退火前后XRD圖和SEM圖對(duì)比，表明退火后BBO結(jié)晶了，且薄膜粒徑從150nm增加到400nm。 快速升溫的高溫場(chǎng)能夠促進(jìn)原子熱運(yùn)動(dòng)，促進(jìn)原子重新排列，結(jié)晶度增大，晶粒尺寸增加 快速退火處理有助于消除薄膜表面的缺陷和雜質(zhì)，使表面更加平整光滑。 可以參考下，真空環(huán)境到?jīng)]有對(duì)比，退火是對(duì)表明粗糙度有影響的 |
2樓2024-06-28 17:44:00
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