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521Huang新蟲 (初入文壇)
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[求助]
怎么在PMMA圖案上面得到Cu圖案 已有1人參與
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先制備PMMA+Cu的圖案，然后噴涂CNT后，溶于丙酮把前面的PMMA+Cu去除掉。這個PMMA+Cu的圖案怎么制備呢 我覺得在對PMMA電子束光刻膠1勻膠顯影之后，再旋涂一層光刻膠2，鍍完Cu膜之后，lift-off工藝把光刻膠2去除掉，得到PMMA+Cu的圖案。 但是對光刻膠2顯影和去膠的過程中，什么顯影液和去膠液對光刻膠2有影響，對PMMA光刻膠1不產(chǎn)生影響呢？ |
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2樓2024-10-25 16:46:16
上一個示意圖看看，可以做微納代工3樓2024-10-31 19:04:51
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