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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 泰伯效應
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泰伯效應
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在衍射光學中，當周期性結構被準直光照射時，可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結構的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應（用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔），它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應用。 利用快速物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術，可以充分研究這種效應及其應用。請看下面的例子，在這些例子中，我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應的基本原理，并更仔細地研究特定的光刻應用，以產(chǎn)生納米結構。 圓錐相位掩模版的泰伯成像 在VirtualLab Fusion中對帶有一層圓錐體的相位掩模板進行了嚴格的建模。檢測到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現(xiàn)，而孔圖案在次圖像平面中再現(xiàn)。 泰伯效應的建模 我們演示了Talbot效應的建模，Talbot效應是一種眾所周知的來自周期結構(如光柵)的近場衍射效應。 |
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