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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 直流磁控濺射
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學(xué)術(shù)務(wù)實(shí)人新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射
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| 請問大佬們直流磁控濺射不同靶材設(shè)置的電源功率怎么變化啊，有計算方法不？或者有用過稀土元素Sc的靶材的大佬們，功率參數(shù)范圍是多少��？ |
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