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石墨化專家
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沉積爐
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沉積爐 用途: 可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。 特點(diǎn) 采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制氣體的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍; 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng); 采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無沉積死角,沉積效果好; 對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理; 采用最新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長,維修率低; 化學(xué)氣相沉積爐主要配置 爐門:絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降;手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼 爐膽:軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈 加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計(jì);手動(dòng)閥/自動(dòng)閥;進(jìn)口/國產(chǎn) 真空泵和真空計(jì)---進(jìn)口/國產(chǎn) 人機(jī)界面:觸摸屏/工控機(jī) 電器元件:正泰/施耐德/西門子 參數(shù)\型號(hào) JR-CJL-Φ30×50 JR-CJL-Φ60×80 JR-CJL-Φ80×120 JR-CJL-Φ100×150 JR-CJL-Φ110×200 容積(L) 35 226 602 1177 1899 最高溫度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 工作區(qū)尺寸D×H(mm) Φ300×500 Φ600×800 Φ800×1200 Φ1000×1500 Φ1100×2000 控溫方式 日本島電溫控儀 加熱方式 電阻加熱 真空系統(tǒng) 抗污泵或滑閥泵+羅茨泵 燒結(jié)氣氛 碳?xì)錃怏w等 額定電源電壓(V) 380 額定加熱電壓(V) 根據(jù)設(shè)計(jì)確定,配置爐前變壓器 |
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