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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射
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網(wǎng)絡(luò)1234新蟲 (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射 已有1人參與
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有沒有用射頻磁控濺射做氧化釔薄膜的大佬，我用的氧化釔陶瓷靶材，射頻功率在110w，濺射氣壓在0.5pa，襯底溫度為200攝氏度，試過純氬氣也試過即通氬氣也通氧氣，但是每次去做xrd的時候都看不出來有氧化釔的峰，這是什么原因啊，也退火了的 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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rky
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2樓2023-10-14 09:48:34
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